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| 致密非晶碳氢薄膜的结构 |
| 刘东平; 俞世吉; 马腾才 |
| 大连理工大学三束国家重点实验室 |
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引用本文:
刘东平; 俞世吉; 马腾才 . 致密非晶碳氢薄膜的结构[J]. 材料研究学报, 2000, 14(5): 553-557.
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15 R.Kleber, K.Jung, H.Ehrhardt, Thin Solid Films, 2O5, 274(1991), |
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