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材料研究学报  1999, Vol. 13 Issue (5): 549-551    
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对向靶溅射制备CN膜的键态
王怡;姜恩永;白海力;吴萍
天津大学
引用本文:

王怡; 姜恩永; 白海力; 吴萍 . 对向靶溅射制备CN膜的键态[J]. 材料研究学报, 1999, 13(5): 549-551.

全文: PDF(273 KB)  
摘要: 使用对向靶溅射系统制备CN膜. 研究了膜的结构和C与N之间的键态. 膜为非晶结构,N/C随N2分压增大而增大,N与C的键合优先形成N-sp2C,N-sp3C的含量随N/C上升而增大. N含量进一步增大时,出现新的键态,N-sp3C含量下降.
关键词 对向靶溅射CN膜键态    
Key words
收稿日期: 1900-01-01     
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