材料研究学报  1998, Vol. 12 Issue (5): 543-545

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IBAD合成CN_x/NbN纳米多层膜

王静;何建立;李文治;李恒德

清华大学材料科学与工程系;北京市;100084;清华大学;北京市;100084;清华大学;北京市;100084;清华大学;北京市;100084

THE INVESTIGATIONS ON NANA-SCALE MULTILAYERS OF CN_x/NbN SYNTHESIZED BY IBAD

WANG Jing; HE Jianli;LI Wenzhi;LI Hengde(Depertment of Material Science and Technolopy; Tsinghua Univ.; Beijing 100084)

王静;何建立;李文治;李恒德. IBAD合成CN_x/NbN纳米多层膜[J]. 材料研究学报, 1998, 12(5): 543-545.
, , , . THE INVESTIGATIONS ON NANA-SCALE MULTILAYERS OF CN_x/NbN SYNTHESIZED BY IBAD[J]. Chin J Mater Res, 1998, 12(5): 543-545.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(750 KB)   摘要: 用离子束辅助沉积技术(IonBeamAssistedDeposition,IBAD)制成CNx/NbN纳米多层膜.研究了工艺参数(轰击能量,基片温度)对股的结构和性能的影响,分析表明,多层膜内的NbN为多晶结构.在轰击能量为400eV,基片温度为600℃时,得到了与β—C3N的晶面间距相对应的三条电子衍射环.基片温度的上升,膜层的硬度上升;轰击能量增大.炒股层的硬度表现为先上升后下降,最大显微硬度达41.81GPa. 关键词 ： 纳米多层膜,  结构微组装,  IBADNbN,  β—C_3N_4     Abstract：Nano-scale multilayers of CNx/NbN have been prepared by ion beam sputtering deposition. The effects of such deposition parameters as substrate temperature, bombarding energy individual layer thickness, etc, were studied. TEM and X-ray analysis confirmed t Key words： nano-scale multilayers    micro assembling    IBAD    NbN    β-C_3N_4 收稿日期: 1998-10-25      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 王静 何建立 李文治 李恒德 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1998/V12/I5/543 1 A.Y.Liu,M.L.Cohen, Science, 245, 841(1989) 2 H.X.Han,B.J.Feldman, Solid State Cornmun, 69, 921(1988) 3 L.Mop, D.R.Cole, E.W.Hapaman,J.Am.Cerem.Soc, 74, 1686(1991) 4 C.J.Toring,J.M.Sivertser,J.H.Judy C.Chang T.Mater.Res, 5, 2490(1990) 5 M.Y.Chen,X.Lin,V.P Dravid Y.W.Chung, M.S.Wong W.DSproul,J.Vac.Sci Technol, A11(3), 521(1993) 6 M.Y.Chen ,X.Lin,V.P.Dravid,Y.W.Chung,M .S.Wong W.D.Sproul,Surf,and Coat .Technol .,54/55,360(1992) 7 F.S.Lu,Applications of Diamond Films and Related materials ,editer by Y.Tzeng ,M.Yoshikawa M,Mar Kawa A.Feldman,(Elsevier Science Publishers ,B,V,1991)p.575 8Antonio Regalado,Science.267,1089(1995) 9 贺小明,离子束辅助沉积类金刚石破膜的研究,博士论文,清华大学(1994) [1] 杨波波,孙珲,杨田林,郑小龙,徐涛,李方正,宋淑梅. 结构调制超硬Ti/TiN纳米多层膜的制备及其尺寸效应[J]. 材料研究学报, 2019, 33(2): 138-144. [2] 魏仑; 邵楠; 梅芳华; 李戈扬 . SiO2层晶化对TiN/ SiO2纳米多层膜结构和性能的影响[J]. 材料研究学报, 2005, 19(5): 479-484. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed