材料研究学报  1996, Vol. 10 Issue (1): 33-38

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纳米Si薄膜的结构及压阻效应

何宇亮;林鸿溢;武旭辉;余明斌;于晓梅;王珩;李冲

北京航空航天大学非晶态物理与光信息研究室;北京理工大学电子工程系;西安交通大学电子工程系

THE STRUCTURE AND PIEZO-RESISTANCE EFFECT OF HYDROGENATED NANO-Si FILMS

HE Yuhang; WU Xuhui; LIN Hongyi; YU Mingbin;YU Xiaomei; WANG Heng; LI Chong (The Amorphous Physics Research Lab; BUAA Beijing 100083; Dept. Of Electronic Engineering; Beijing Institute of Technology; Beijing 100081)

何宇亮;林鸿溢;武旭辉;余明斌;于晓梅;王珩;李冲. 纳米Si薄膜的结构及压阻效应[J]. 材料研究学报, 1996, 10(1): 33-38.
, , , , , , . THE STRUCTURE AND PIEZO-RESISTANCE EFFECT OF HYDROGENATED NANO-Si FILMS[J]. Chin J Mater Res, 1996, 10(1): 33-38.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(487 KB)   摘要: 使用HREM及STM技术检测了纳米Si薄膜的微结构纳米Si薄膜由大量的细微Si晶粒以及大量的晶粒间界面区组成.这一特殊的结构造成纳米Si薄膜具有较大的压阻效应及较高氢含量.本文分析讨论了薄膜微结构对其压阻效应的作用,并认为纳米Si薄膜材料将是一种理想的传感器材料 关键词 ： 纳米Si薄膜,  压阻效应,  微结构,  简支梁法     Abstract：In this report Authors employed the HREM and STM to detect the micro-structure of nc-Si:H films, which are fabricated by the PECVD deposition method. The nc-Si:H films are consisted with a mass of micro-grains and a great deal of interfaces among grains. Key words： an-rystalline silicon film peizo-resistance effect micro-structure freely supported method 收稿日期: 1996-02-25      基金资助:国家自然科学基金 服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 何宇亮 林鸿溢 武旭辉 余明斌 于晓梅 王珩 李冲 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1996/V10/I1/33 1何宇亮,刘湘娜,王志超等中国科学(A辑),1992、(9):9952HeYuliangYinChenzhong,ChengGuangruetaLJApplPhys,1994,75(2):7973何宇亮,褚一鸣,王中怀等．半导体学报．1994,15(1):714BaiCL,WangZH,HeYLetalJVacSciTechnolB,1994,12(3):18235刘湘娜,何宇亮,王富朝等．物理学报,1993,42(12):19796余明斌,何宇亮,刘洪涛．物理学报,1995,44(4):6347何宇亮,武旭辉,林鸿溢．科学通报,1995,40(7):6058HeYuliang,ChuYiming,LinHongyietal．ChinPhysLett1993,10(9):5399何宇亮,孙勤生,韦亚一等．1994秋季中国材料研讨会文集Ⅱ卷一分册,北京:化学工业出版社,995:31410JohnYWSeto．JApplPhys1975,46(12):524711何宇亮,殷晨钟,程光煦等．半导体学报,1992,13(11):68312刘刚,余岳辉等．半导体器件北京:电子工程出版社,1990年第6章F [1] 陈晶晶, 邱小林, 李柯, 袁军军, 周丹, 刘亦薇. 磨粒刮擦诱导单晶镍微结构演化与塑性去除行为的纳观分析[J]. 材料研究学报, 2022, 36(7): 511-518. [2] 牛牧野, 张兴华, 赵海成, 夏宇, 刘佳杰. Cr对Ni3Si合金摩擦学性能的影响[J]. 材料研究学报, 2018, 32(5): 395-400. [3] 王亚军, 于海洋, 李泽雪, 郭梁. 添加剂对亚稳相γ-Bi2O3的低温水相合成和光性能的影响[J]. 材料研究学报, 2018, 32(2): 149-154. [4] 王亚超, 赵江平, 童媛媛, 丁建雄. LaCl3掺杂聚丙烯酰胺/硅灰基阻燃材料的制备及其阻燃机理[J]. 材料研究学报, 2017, 31(5): 387-393. [5] 郭伟明, 谭大旺, 吴利翔, 林华泰, 伍尚华. B4C/TiB2复相陶瓷硬度压痕的尺寸效应[J]. 材料研究学报, 2017, 31(12): 894-900. [6] 安红章,吴开均,肖婷,展长勇,任丁. HCl浓度对多孔硅微结构及Si-H键合的影响*[J]. 材料研究学报, 2016, 30(9): 717-720. [7] 王亚超, 赵江平. 化学改性硅藻土制备阻燃材料及微结构研究*[J]. 材料研究学报, 2016, 30(7): 524-530. [8] 吴细毛,和正华,李春和,柳金龙,张芳,沙玉辉. 在A6电工铝导线的冷拉拔过程中织构的演变[J]. 材料研究学报, 2015, 29(7): 555-560. [9] 沈月,何国球,田丹丹,樊康乐,刘晓山,莫德锋. 二次枝晶臂间距对A319铝合金拉伸及疲劳性能的影响[J]. 材料研究学报, 2014, 28(8): 587-593. [10] 张云崖 邓运来 祁小红 宋满新 张新明. 微量Sc对Al--Zn--Mg--Cu合金微结构和织构的影响[J]. 材料研究学报, 2012, 26(6): 597-604. [11] 丁珊 唐敏健 周长忍 田金环 李立华. 胆固醇/卵磷脂对壳聚糖模板中羟基磷灰石微结构的影响[J]. 材料研究学报, 2011, 25(4): 381-385. [12] 陈文国 代建清 丁耀民 夏井兵. 热处理对Ba2Co0.6Zn1.0Cu0.4Fe12O22(Co2Y)铁氧体磁性能的影响[J]. 材料研究学报, 2011, 25(3): 308-312. [13] 银锐明 范景莲 刘勋 张曙光. Fe2(MoO4)3/Si3N4复合粉末还原过程中的微观组织结构[J]. 材料研究学报, 2010, 24(1): 69-75. [14] 代伟 吴国松 孙丽丽 汪爱英. 衬底偏压对线性离子束DLC膜微结构和物性的影响[J]. 材料研究学报, 2009, 23(6): 598-603. [15] 黎业生; 赵明纯; 单以银; 杨柯 . 一种针状铁素体钢热轧板材的结构与力学性能[J]. 材料研究学报, 2004, 18(3): 322-326. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed