PLZT(28/0/100)薄膜的溶胶-凝胶制备技术及显微结构

材料研究学报

1995, Vol. 9

Issue (1): 76-80

研究论文

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PLZT(28/0/100)薄膜的溶胶-凝胶制备技术及显微结构

陈志雄;唐大海;刘梅冬;王培英;吴国安;丁军勇

广州师范学院物理系;华中理工大学固体电子学系

SOL-GEL PREPARATION TECHNIQUE AND MICROSTRUCTURE OF PLZT(28 / 0 / 100) THIN FILMS

CHEN Zhixiong;TANG Dahai(Guangzhou Teachers' College)LIU Meidong;WANG Peiying;WU Guoan; DING Junyong(Huazhong University of Science and Technology)(Corresdpondent: CHEN Zhixiiong;Professor; Physics Department; Guangzhou Teachers' College;Guangzhou 510400)

引用本文:

陈志雄;唐大海;刘梅冬;王培英;吴国安;丁军勇. PLZT(28/0/100)薄膜的溶胶-凝胶制备技术及显微结构[J]. 材料研究学报, 1995, 9(1): 76-80.
, , , , , . SOL-GEL PREPARATION TECHNIQUE AND MICROSTRUCTURE OF PLZT(28 / 0 / 100) THIN FILMS[J]. Chin J Mater Res, 1995, 9(1): 76-80.

全文: PDF(942 KB)

摘要: 用溶胶—凝胶技术及回旋法,在石英玻璃和单晶si基片上制备PLZT(28/0/100)多晶薄膜;在SrTiO3和α-A12O3单晶基片上外延生长择优取向薄膜.其外延关系分别为(100)PLZT(28/0/100)//(100)SrTiO3和(100)PLZT(28/0/100)//(0001)Al2O3.用IR,XRD.RHEED,SEM和SIMS分析凝胶中杂质、凝胶的分子结构和薄膜的显微结构.结果表明,用溶胶—凝胶技术能制备出显微结构良好的多组份陶瓷薄膜.

关键词 ：溶胶—凝胶, PLZT薄膜, 外延生长, 显微结构

Abstract：PLZT(28 / 0 / 100) polycrystalline thin films (PLT 2B for short) on quartz glass and p-(1 1 1) Si substrates have been prepared by spinning method, the preferential oriented thin films of epitaxial growth on SrTiO3 and α- A12O3 single crystal substrates h

Key words： sol-gel; PLZT thin film; epitaxial growth; microstructure

收稿日期: 1995-02-25

基金资助:国家科委８６３资助

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