材料研究学报  1994, Vol. 8 Issue (4): 330-336

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金刚石薄膜及高保真声学振动膜材料概述

张志伟;李荣志;朱鹤孙

北京理工大学

REVIEW OF DIAMOND FILM AND HIGH-FIDILITY ACOUSTIC DIAPHRAGM MATERIALS

ZHANG Zhiwei; LI RongZhi; ZHU Hesun (Beijing Institute of Technology)

张志伟;李荣志;朱鹤孙. 金刚石薄膜及高保真声学振动膜材料概述[J]. 材料研究学报, 1994, 8(4): 330-336.
, , . REVIEW OF DIAMOND FILM AND HIGH-FIDILITY ACOUSTIC DIAPHRAGM MATERIALS[J]. Chin J Mater Res, 1994, 8(4): 330-336.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(1572 KB)   摘要: 综述了扬声器高音振膜材料的研究工作及其进展,特别介绍了金刚石薄膜(DF)制备扬声器振动膜和用类金刚石薄膜(DLC)涂层制备扬声器振动膜方面的进展.探讨了用DF及其钛复合材料制备扬声器振动膜的技术方法并采用直流电弧等离子体喷射法制备了多晶金刚石涂覆的球顶形钛扬声器高频振膜,测试证明声学效果优于涂覆前. 关键词 ： 金刚石薄膜,  声学、钛,  高音扬声器,  振动膜     Abstract：The research works on loudspeaker vibration films and their developments were reviewed. Especially reviewed the diaphragms made by Diamond Film (DF) and Diamond Like Carbon (DLC). The methods and techniques for the preparation of diaphragms on tweeter mad Key words： Diamond film    acoustic    titanium    diaphragm    tweeter 收稿日期: 1994-08-25      基金资助:国家高技术新材料领域资助 服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 张志伟 李荣志 朱鹤孙 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1994/V8/I4/330 1曹水轩,沙家正编著．扬声器及其系统．南京:江苏科学技术出版社,1991:1222黄贵周著．音响器材．台北:三民书局,1980:933张绍高译．扬声器系统(下册)(日)．北京:国防工业出版社,1986:1144木下克己．微细加工技术,1990;2(3):9655YOSHIOKAT,IMAIO,OHARAHetal．SurfaceandCoatingsTechnology,1988;36:3116芳．电子材料,1989;8:97郑昌琼,冉均国．材料科学与工程,1992;2:458蒋翔六主编．金刚石薄膜研究进展．北京:化学工业出版社,1991:19Editorial．MicroelectronicsManufacturingTechnology,1991;6:14 10GOVERNMENTCONCERNTRATES,Chem&Engg．News1990;68(21):2411王国栋译．压电与声光,1991;2:9212戚立昌等．微细加工技术,1990;2//3:3113ThomasA．Carbon,1990;28(6):77414吴琼．电子元件与材料,1990;9(2):5215CappelliMA．JMaterRes．1990;5(11):232616SharmaSC,ChourasiaAR．MaterRes,1990;5(11):242417RameshamR,JaworskeDA,BaughW．JMaterRes,1990;5(11):127818张以忱,杨乃恒．真空,1991;1:3719HolidayP,Dehbi-AlaouiA,MatthewsA．MaterialsScienceForum,1992;(102—104):64320 陈仑译．磨料磨具与磨削,1987;3(39):121阎震,施海良等．高技术通讯,1991;1(5):1722孙以宁,郭晚士等．真空与低温,1991;10(3):4223侯立,陶增六,戚立昌．人工晶体,1988;17(1):7024KuoCT,HsuSE．JMaterRes,1990;5(11):251525ParkSS,LeeJY．JAppPhys,1991;69(4):261826陈国平．电子器件,1988;1:127毛友德．刘声雷,激光技术,1991;15(5):128MirtichMJ,SwecDS．ThinSolidFilms,1985;131:24529NishikawaS,etal．JApplPhys,1986;25:51130华子兴．电声技术,1992;5:531 张桂昌．电声技术,1993;4:1332 刘声雷,毛友德．电声技术,1994;1:1533 陆正伟．电声技术．1994;1:4134Yamazaki．USPat5015494,199135LuZP,StachowiczL,KongP,etal．PlasmaChemistryandPlasmaProcessing,1991:11(3):38736Soon—SupPark,Jai—YoungLee．JApplPhys,1991;69(4):261837SpearKE,JAmerCeraSoc,1988;72:17138YugoS,KimuraT,KannaiH,etal．In:EminnD,AselageTL．WoodCeds．NovelRefractorSemiconductors,Pittsburgh,PA,MaterialsResearchSociety,1987:32739MatsumotoS．InorganicMater,1984;39:2940ChangCP,FlammDL,IbbotsonDEetal．JApplPhys,1988;63:177441MitsudaK,KojimaY,YoshidaTetal．J MaterSci,1987;22:155742P-OJoffreau,HaubnerR,LuxB．JRefractoryHardMater,1988;7:18643MeilunasR,WongMS,ShengKCetal．ApplPhysLett,198954:220444BeltonDN,HarrisSJ,SchmiegSJetal．ApplPhysLett,1989;54:41645HirabayashiK．TaniguchiY．ApplPhysLett,1988;53:181546AlbanoEV,BinderK,HeermannDW,etal．SurfSci．1989;223:15147AlbanoEV,MartinHO．PhysRev,1987;B35:782048AlbanoEV,MartinHO．PhysRev,1988;B38:793249FrenklachM,SpearKE．JMaterRes．1988;3:13350CressieE,Holcombe,Jr．etal．USPat4228142．198051李荣志,朱鹤孙,张志伟．中华人民共和国专利号ZL93208992．552张志伟,李荣志,朱鹤孙．高技术通讯,1993年8月53于晨,杨杰,范玉殿,陶琨．材料科学进展．1993;71(6):521? [1] 邵思武, 郑宇亭, 安康, 黄亚博, 陈良贤, 刘金龙, 魏俊俊, 李成明. 偏压技术在金刚石薄膜制备中应用的进展[J]. 材料研究学报, 2022, 36(3): 161-174. [2] 崔丽, 孙丽丽, 郭鹏, 马鑫, 王舒远, 汪爱英. 沉积时间对聚醚醚酮表面类金刚石薄膜的结构和性能的影响[J]. 材料研究学报, 2022, 36(11): 801-810. [3] 熊文文, 何嵩, 郑淞生, 程其进, 沈宏勋, 陈朝. 用RF-PECVD法制备类金刚石薄膜[J]. 材料研究学报, 2021, 35(2): 154-160. [4] 王延平 王兵 熊鹰 周亮. 掺氮纳米金刚石膜的制备和性能[J]. 材料研究学报, 2011, 25(2): 147-150. [5] 王玉乾 王兵 孟祥钦 甘孔银. 掺硼对超纳米金刚石薄膜的影响[J]. 材料研究学报, 2009, 23(3): 288-292. [6] 刘洪喜 蒋业华 周荣 詹肇麟 汤宝寅. 类金刚石薄膜对轴承钢表面机械性能和滚动接触疲劳寿命的影响[J]. 材料研究学报, 2009, 23(1): 43-48. [7] 汪浩;朱鹤孙;沈明荣;宁兆元. CVD金刚石薄膜的成核机制[J]. 材料研究学报, 1998, 12(6): 570-574. [8] 郑昌琼;张铭诚;冉均国. 金刚石薄膜品质及其表征[J]. 材料研究学报, 1997, 11(3): 231-239. [9] 唐璧玉;靳九成;靳浩;颜永红;李绍绿;夏金童;陈小华;陈宗璋. 化学汽相沉积金刚石薄膜的生长[J]. 材料研究学报, 1997, 11(3): 334-336. [10] 陈岩;黄荣芳;闻立时;师昌绪. 温度场对热丝化学气相沉积大面积生长金刚石膜的影响[J]. 材料研究学报, 1995, 9(3): 245-249. [11] 沈荷生;张志明;何贤昶;李胜华. 金刚石的同质外延掺硼和Schottky特性[J]. 材料研究学报, 1995, 9(2): 163-166. [12] 郭力军;许念坎;刘正堂;张贵锋;郑修麟. 极板负偏压对类金刚石薄膜性质的影响[J]. 材料研究学报, 1994, 8(1): 67-70. [13] 张贵锋;郑修麟. 衬底表面预处理对金刚石薄膜形核及长大的影响[J]. 材料研究学报, 1993, 7(2): 132-137. [14] 陈岩;黄荣芳;闻立时;师昌绪. 氮化硅及Sialon陶瓷基材上金刚石膜的沉积[J]. 材料研究学报, 1992, 6(1): 56-59. [15] 郑周;陈仑;张明. 大气下火焰法合成金刚石薄膜[J]. 材料研究学报, 1992, 6(1): 52-55. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed