材料研究学报  1993, Vol. 7 Issue (2): 132-137

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衬底表面预处理对金刚石薄膜形核及长大的影响

张贵锋;郑修麟

西北工业大学;西北工业大学

EFFECTS OF SUBSTRATE PRETREATMENT ON NUCLEATION AND GROWTH OF DIAMOND FILMS

ZHANG Guifeng ZHENG Xiulin (Northwestern Polytechnical University)

张贵锋;郑修麟. 衬底表面预处理对金刚石薄膜形核及长大的影响[J]. 材料研究学报, 1993, 7(2): 132-137.
, . EFFECTS OF SUBSTRATE PRETREATMENT ON NUCLEATION AND GROWTH OF DIAMOND FILMS[J]. Chin J Mater Res, 1993, 7(2): 132-137.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(1923 KB)   摘要: 用燃烧火焰法在TC4 Ti 合金和单晶Si(001)面上沉积了金刚石薄膜。对合成的膜进行了扫描电镜、激光喇曼光谱分析。结果表明,金刚石薄膜的结构和形貌强烈取决于沉积温度、O_2/C_2H_2流量比等工艺参数。研究了衬底表面预处理对金刚石薄膜形核及长大的影响,并对表面预处理影响形核的原因进行了初步探讨。 关键词 ： 燃烧火焰法,  金刚石薄膜,  衬底表面预处理,  形核密度     Abstract：Diamond films were synthesized on TC4 Ti alloy and Si(001)substrates bycombustion flame method in the atmosphere.The films obtained were characterized by scanningelectron microscopy and laser Raman spectroscopy.The results indicated that the structure and Key words： combustion flame    diamond film    surface pretreatment    nucleation density 收稿日期: 1993-04-25      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 张贵锋 郑修麟 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1993/V7/I2/132 1 Muranaka Yet al.J Appl Phys,1990;67:6247 2 Takata Yet al.Jpn J Appl Phys,1989;28:L1282 3 Lux B,Haubner R.J Ref Hard Metals,1989;8(3) :158 4 Hirose Y,Kondo N.Program and Book of Abstracts,Jpn Appl Phys,1988 Spring Meeting,March 29,1988 5 Jansen F,Machonkin M A et al.J Vac Sci Technol,1990;A8:3785 6 Morrish A A,Pehrsson P E.Appl Phys Lett,1991;59(4) :417 7 Lee Y H,Bachmann K J et al.Appl Phys Lett,1990;57(18) :1916 8 Dennig P A,Stevenson D A.Appl Phys Lett,1991;59(13) :15623 [1] 邵思武, 郑宇亭, 安康, 黄亚博, 陈良贤, 刘金龙, 魏俊俊, 李成明. 偏压技术在金刚石薄膜制备中应用的进展[J]. 材料研究学报, 2022, 36(3): 161-174. [2] 崔丽, 孙丽丽, 郭鹏, 马鑫, 王舒远, 汪爱英. 沉积时间对聚醚醚酮表面类金刚石薄膜的结构和性能的影响[J]. 材料研究学报, 2022, 36(11): 801-810. [3] 熊文文, 何嵩, 郑淞生, 程其进, 沈宏勋, 陈朝. 用RF-PECVD法制备类金刚石薄膜[J]. 材料研究学报, 2021, 35(2): 154-160. [4] 王延平 王兵 熊鹰 周亮. 掺氮纳米金刚石膜的制备和性能[J]. 材料研究学报, 2011, 25(2): 147-150. [5] 王玉乾 王兵 孟祥钦 甘孔银. 掺硼对超纳米金刚石薄膜的影响[J]. 材料研究学报, 2009, 23(3): 288-292. [6] 刘洪喜 蒋业华 周荣 詹肇麟 汤宝寅. 类金刚石薄膜对轴承钢表面机械性能和滚动接触疲劳寿命的影响[J]. 材料研究学报, 2009, 23(1): 43-48. [7] 汪浩;朱鹤孙;沈明荣;宁兆元. CVD金刚石薄膜的成核机制[J]. 材料研究学报, 1998, 12(6): 570-574. [8] 郑昌琼;张铭诚;冉均国. 金刚石薄膜品质及其表征[J]. 材料研究学报, 1997, 11(3): 231-239. [9] 唐璧玉;靳九成;靳浩;颜永红;李绍绿;夏金童;陈小华;陈宗璋. 化学汽相沉积金刚石薄膜的生长[J]. 材料研究学报, 1997, 11(3): 334-336. [10] 陈岩;黄荣芳;闻立时;师昌绪. 温度场对热丝化学气相沉积大面积生长金刚石膜的影响[J]. 材料研究学报, 1995, 9(3): 245-249. [11] 沈荷生;张志明;何贤昶;李胜华. 金刚石的同质外延掺硼和Schottky特性[J]. 材料研究学报, 1995, 9(2): 163-166. [12] 张志伟;李荣志;朱鹤孙. 金刚石薄膜及高保真声学振动膜材料概述[J]. 材料研究学报, 1994, 8(4): 330-336. [13] 郭力军;许念坎;刘正堂;张贵锋;郑修麟. 极板负偏压对类金刚石薄膜性质的影响[J]. 材料研究学报, 1994, 8(1): 67-70. [14] 陈岩;黄荣芳;闻立时;师昌绪. 氮化硅及Sialon陶瓷基材上金刚石膜的沉积[J]. 材料研究学报, 1992, 6(1): 56-59. [15] 郑周;陈仑;张明. 大气下火焰法合成金刚石薄膜[J]. 材料研究学报, 1992, 6(1): 52-55. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed