材料研究学报  1992, Vol. 6 Issue (1): 52-55

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大气下火焰法合成金刚石薄膜

郑周;陈仑;张明

机械电子工业部郑州磨料磨具磨削研究所;工程师;郑州市华山路121号(450007);机械电子工业部郑州磨料磨具磨削研究所;机械电子工业部郑州磨料磨具磨削研究所

SYNTHESIS OF DIAMOND FILM BY COMBUSTION FLAME IN ATMOSPHERE

ZHENG Zhou;CHEN Lun;ZHANG Ming(Zhengzhou Research Institute For Abrasives Grinding)

郑周;陈仑;张明. 大气下火焰法合成金刚石薄膜[J]. 材料研究学报, 1992, 6(1): 52-55.
, , . SYNTHESIS OF DIAMOND FILM BY COMBUSTION FLAME IN ATMOSPHERE[J]. Chin J Mater Res, 1992, 6(1): 52-55.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(1003 KB)   摘要: 本文介绍了用氧-乙炔火焰法在大气下合成金刚石薄膜的实验结果,初步研究了基板温度对金刚石晶体生长速度、结晶习性的影响,指出了在金刚石(111)及(100)晶面上外延单晶金刚石膜的温度范围,还探讨了氧对薄膜的质量均匀性的影响。 关键词 ： 火焰法,  金刚石薄膜,  基板温度     Abstract：This paper presented the experimental results of synthesized diamond film in atmosphere by thecombustion flame of oxyacetylene.The influence of substrate temperature on diamond growth rate and crystalhabit was studied.The temperature range of epitaxial si Key words： combustion flame    diamond film    substrate temperature. 收稿日期: 1992-02-25      基金资助:国家自然科学基金,58972105 服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 郑周 陈仑 张明 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1992/V6/I1/52 1 广濑洋一,近藤纪明.第35回(?)用物理学会学(?)演会,预稿集第2分册,1988;29a-T-1:434 2 Matsumoto S.New Diamond,1988;8:26 3 山冈信夫.New Diamond,1986;4:40 4 加茂睦和.(?)工具,1988;11:37 [1] 邵思武, 郑宇亭, 安康, 黄亚博, 陈良贤, 刘金龙, 魏俊俊, 李成明. 偏压技术在金刚石薄膜制备中应用的进展[J]. 材料研究学报, 2022, 36(3): 161-174. [2] 崔丽, 孙丽丽, 郭鹏, 马鑫, 王舒远, 汪爱英. 沉积时间对聚醚醚酮表面类金刚石薄膜的结构和性能的影响[J]. 材料研究学报, 2022, 36(11): 801-810. [3] 熊文文, 何嵩, 郑淞生, 程其进, 沈宏勋, 陈朝. 用RF-PECVD法制备类金刚石薄膜[J]. 材料研究学报, 2021, 35(2): 154-160. [4] 王延平 王兵 熊鹰 周亮. 掺氮纳米金刚石膜的制备和性能[J]. 材料研究学报, 2011, 25(2): 147-150. [5] 王玉乾 王兵 孟祥钦 甘孔银. 掺硼对超纳米金刚石薄膜的影响[J]. 材料研究学报, 2009, 23(3): 288-292. [6] 刘洪喜 蒋业华 周荣 詹肇麟 汤宝寅. 类金刚石薄膜对轴承钢表面机械性能和滚动接触疲劳寿命的影响[J]. 材料研究学报, 2009, 23(1): 43-48. [7] 唐德文 成晓玲 匡同春 王成勇. 火焰法高钴YG系硬质合金表面沉积复合碳材料[J]. 材料研究学报, 2008, 22(6): 664-672. [8] 汪浩;朱鹤孙;沈明荣;宁兆元. CVD金刚石薄膜的成核机制[J]. 材料研究学报, 1998, 12(6): 570-574. [9] 郑昌琼;张铭诚;冉均国. 金刚石薄膜品质及其表征[J]. 材料研究学报, 1997, 11(3): 231-239. [10] 唐璧玉;靳九成;靳浩;颜永红;李绍绿;夏金童;陈小华;陈宗璋. 化学汽相沉积金刚石薄膜的生长[J]. 材料研究学报, 1997, 11(3): 334-336. [11] 陈岩;黄荣芳;闻立时;师昌绪. 温度场对热丝化学气相沉积大面积生长金刚石膜的影响[J]. 材料研究学报, 1995, 9(3): 245-249. [12] 沈荷生;张志明;何贤昶;李胜华. 金刚石的同质外延掺硼和Schottky特性[J]. 材料研究学报, 1995, 9(2): 163-166. [13] 张志伟;李荣志;朱鹤孙. 金刚石薄膜及高保真声学振动膜材料概述[J]. 材料研究学报, 1994, 8(4): 330-336. [14] 郭力军;许念坎;刘正堂;张贵锋;郑修麟. 极板负偏压对类金刚石薄膜性质的影响[J]. 材料研究学报, 1994, 8(1): 67-70. [15] 张贵锋;郑修麟. 衬底表面预处理对金刚石薄膜形核及长大的影响[J]. 材料研究学报, 1993, 7(2): 132-137. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed