用快速胶凝法制备无机氧化铝膜

材料研究学报

1999, Vol. 13

Issue (4): 372-375

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用快速胶凝法制备无机氧化铝膜

黄肖容;黄仲涛

华南理工大学

引用本文:

黄肖容; 黄仲涛 . 用快速胶凝法制备无机氧化铝膜[J]. 材料研究学报, 1999, 13(4): 372-375.

全文: PDF(391 KB)

摘要: 用溶胶快速胶凝法制备了无龟裂的氧化铝膜. 勃姆石凝胶膜的厚度与喷雾距离、时间和溶胶的浓度之间的关系为δ µ ct/d^2. 适宜的溶胶(AlOOH)浓度为0.5~ 1.4mol/L,粘度应小于25´10^{-3}Pa•s. 用此法可制备厚度为0.05μm的超薄负载氧化铝膜和厚度为0.2mm的无龟裂的无负载氧化铝膜. 利用X射线衍射、透射电镜研究了不同温度时的物相和膜的截面、表面的形貌γ-Al2O3膜的晶粒大小均匀,以长形晶粒为主,形成了较均匀的孔结构, 微孔孔径约为3nm.

关键词 ：溶胶-凝胶法, 快速胶凝, 氧化铝膜

Key words：

收稿日期: 1900-01-01

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