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材料研究学报  2000, Vol. 14 Issue (5): 485-488    
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低温生长的ZnO单晶薄膜的结构和性能
邱东江; 吴惠桢; 杨爱龄; 徐晓玲
浙江大学
引用本文:

邱东江; 吴惠桢; 杨爱龄; 徐晓玲 . 低温生长的ZnO单晶薄膜的结构和性能[J]. 材料研究学报, 2000, 14(5): 485-488.

全文: PDF(459 KB)  
摘要: 采用电子束反应蒸镀方法在玻璃衬底上在低温下外延生长了沿c--轴高度取向的单晶ZnO薄膜. 研究了衬底温度及反应气氛中的O2对薄膜结构的影响,结合荧光光谱(PL)和荧光激发光谱(PLE)研究了玻璃上ZnO薄膜的光学跃迁特性.在325℃下获得的单晶薄膜(002)晶面的X射线衍射峰强度最大且线宽最窄(0.28º).反应气氛中的O2对ZnO薄膜结构的影响不明显, 但对薄膜的PL及PLE特性的影响显著.
关键词 电子束反应蒸镀单晶ZnO薄膜玻璃衬底    
Key words
收稿日期: 1900-01-01     
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