材料研究学报  2000, Vol. 14 Issue (4): 397-400

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锆钛酸铅(PZT)薄膜的自发极化与压电响应

程晋荣(1;2); 徐东(3); 孟中岩(2)

1.上海交通大学材料学院; 2. 上海大学材料学院; 3. 上海交通大学信息存储中心

程晋荣; 徐东; 孟中岩 . 锆钛酸铅(PZT)薄膜的自发极化与压电响应[J]. 材料研究学报, 2000, 14(4): 397-400.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(467 KB)   摘要: 用溶胶--凝胶法在Pt/Ti/SiO$_{2}$/Si(100)基片上制备了近等原子比的压电PZT薄膜.在准同型相界附近的PZT薄膜的应变机制是受极化控制的压电效应,内电场导致薄膜的自发极化定向, 使薄膜未经极化就具有明显的压电响应. 关键词 ： 压电薄膜,  溶胶--凝胶,  MEMS     Key words： 收稿日期: 1900-01-01      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 程晋荣 徐东 孟中岩 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/Y2000/V14/I4/397 1 D.L.Polla, L.F.Francis, Annu.Rev.Mater.Sci., 28, 563(1998) 2 R.W.Schwartz, T.J.Boyle, S.J.Lockwood, Integrated Ferroelectrics, 10, 89(1995) 3 A.S.Nickles, R.Ramesh, R.M.White, E.E.Haller, Integrated Ferroelectrics, 22, 525(1998) 4 Y.M.Kin, W.J.Lee, H.G.Kim, Thin Solid Films, 279, 140(1996) 5 Z.Surowiak, M.Loposzko, V.Dudkevich, Thin Solid Films, 205, 76(1991) 6 H.D.Chen, K.R.Udayakumar, C.J.Gaskey, L.E.Cross, Appl.Phys.Lett., 67(23),:3411(1995) 7 G.Teowee, F.S .Mccarthy, K.C .Mccarthy, D.R.Uhlmann, Integrated Ferroelectrics, 22, 431(1998) 8 M.Dubois, P.Muralt, D.V.Taylor, S.Hiboux, Integrated Ferroelectrics, 22, 535(1998) 9 S.Arscott, Z.Awang, Y.L.Tu, R.E.Miles, Ferroelectrics, 187, 49(1996) 10程晋荣,罗来青,孟中岩,功能材料,2000;待发表 11 Jinrong Cheng, Zhongyan Meng, Advances in Sci. and Techn., V. 25 Smart Materials Systemts, edited by P.Vincenzini, Techna, Faenza, 61 (1999) 12 M.Sakata, S.Wakabayashi, H.Goto, T.Yada, 0-7803-2985-6/96, IEEE, 263(1996) 13 K.R.Udayakumar, J.Chen, L.E.Cross, MRS, 243, 49(1992) 14 S.F.Bart, T.A.Lober, Sensors and Actuators, 14(3), 269(1998) 15 A.L.Kholkin, K.G.Brooks, D.V.Taylor, N.Setter, Integrated Ferroelectrics, 22, 525(1998) 16 K.Yoo, S.B.Desu, MRS., 361, 79(1995 [1] 张静娴 洪秋虹 孙学通 张新平. 医用多孔TiO2/HA/TiO2复合涂层的制备和性能[J]. 材料研究学报, 2012, 26(6): 572-576. [2] 隗小庆 倪星元 沈军 祖国庆 张志华 杜艾. 氧化铝气凝胶隔热材料的制备和热学性能[J]. 材料研究学报, 2012, 26(3): 261-266. [3] 吴燕飞 黄英 张银铃 牛磊. Me2--W型钡铁氧体的制备及其电磁性能研究[J]. 材料研究学报, 2011, 25(6): 607-612. [4] 高坤 罗运军 李国平 王鲁 陈人杰 李念珂. SiO2含量对氧化铁基Fe2O3--SiO2二元复合干凝胶性能的影响[J]. 材料研究学报, 2011, 25(5): 464-468. [5] 戴剑锋 陈小婷 慕晓文 高会芳. 静电纺丝法制备超长YMnO3单晶纳米纤维[J]. 材料研究学报, 2011, 25(4): 399-402. [6] 聂海 张怀武 李元勋 凌味未. M型钡铁氧体掺杂Co--Ti改性研究[J]. 材料研究学报, 2010, 24(6): 638-642. [7] 田晓 贾清 崔玉友 杨锐. TiAl合金防护涂层先驱溶胶的热分解和晶化过程[J]. 材料研究学报, 2010, 24(5): 483-486. [8] 李莉 王宽岭 李家博 张文杰. 对NaZSM--5分子筛盐酸改性制备TiO2/ZSM--5光催化剂[J]. 材料研究学报, 2010, 24(5): 535-539. [9] 刘健飞 王志 丁寅森. Fe/Al2O3陶瓷梯度涂层的结合性能[J]. 材料研究学报, 2010, 24(4): 401-405. [10] 刘明星 刘东林 王贤文 苏江涛. 用AAO模板法制备硅纳米管[J]. 材料研究学报, 2010, 24(4): 439-443. [11] 胡小娟 刘岚 罗远芳 贾德民 程梁 胡盛哲. 溶胶--凝胶法制备超疏水PMHS--SiO2涂膜[J]. 材料研究学报, 2010, 24(3): 266-272. [12] 李金泽 黄洁 陈浩 厉以宇 苏晓东. La掺杂对TiO2薄膜性能的影响[J]. 材料研究学报, 2009, 23(5): 546-549. [13] 刘强 程晓农 徐红星 费黄霞. 316L不锈钢和NiTi合金微磁场表面粗糙度对血液相容性的影响[J]. 材料研究学报, 2009, 23(3): 323-326. [14] 赵胜利; 文九巴; 王红康; 赵崇军 . NiO纳米晶的制备和电化学性能[J]. 材料研究学报, 2008, 22(4): 415-419. [15] 赵鹏; 姚熹; 翟继卫; 张德生; 张良莹 . 溶胶--凝胶法制备PbTiO3铁电玻璃陶瓷的高频晶粒尺寸效应[J]. 材料研究学报, 2000, 14(3): 234-238. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed