材料研究学报  1995, Vol. 9 Issue (3): 255-258

研究论文 本期目录 | 过刊浏览 |

溶胶—凝胶法制备的Al_2O_3感温膜及其性质

陈广文;殷景华;薛占林;桂太龙

哈尔滨科学技术大学

THE PROPERTIES OF Al_2O_3 HUMIDITY-SENSING THIN FILM PREPARED BY SOL-GEL METHOD

CHEN Guangwen;YIN Jinghua;XUE Zhanlin;GUI Tailong(Harbin University of Sciencie and Technology)

陈广文;殷景华;薛占林;桂太龙. 溶胶—凝胶法制备的Al_2O_3感温膜及其性质[J]. 材料研究学报, 1995, 9(3): 255-258.
, , , . THE PROPERTIES OF Al_2O_3 HUMIDITY-SENSING THIN FILM PREPARED BY SOL-GEL METHOD[J]. Chin J Mater Res, 1995, 9(3): 255-258.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(1150 KB)   摘要: 用溶胶—凝胶方法,采用电泳工艺在Al基片上制成Al2O3薄膜.膜物质主要是非晶态,但含有少量微晶.随着热处理温度的升高,进晶含量增加,这种湿敏膜在中,高湿区有良好的感湿性能. 关键词 ： 溶胶—凝胶法,  电泳工艺,  Al_2O_3薄膜,  湿敏性     Abstract：Using sol-gel method. Al2O3 thin film have ben prepared on Al wafer with electrophoretic technique. The principal parts of the films are non-crystalline solid.and there are a little small crystallites in the films.The amount of crystallites increases with Key words： sol-gel method    electrophore technique    Al_2O_3 film 收稿日期: 1995-06-25      基金资助:黑龙江省自然科学基金 服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 陈广文 殷景华 薛占林 桂太龙 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1995/V9/I3/255 1HsiehHP．BhaveRR,FlemingHL．MembraneScience．1988:39:2212HelmutDislich．JNon-Cryst．1986:80:1153刘克俭,申海涛．电子元件与材料,1991:10(6):124卢朝靖,王世敏,赵建洪等．无机材料学报,1993:8(4):4665李彬．仪表材料,1990;21(5):290 No related articles found! Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed