材料研究学报  1995, Vol. 9 Issue (3): 245-249

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温度场对热丝化学气相沉积大面积生长金刚石膜的影响

陈岩;黄荣芳;闻立时;师昌绪

中国科学院全属研究所;中国科学院物理研究所

THE INFLUENCES OF TEMPERATURE FIELD ON LARGE AREA DIAMOND GROWTH OF DIAMOND FILM BY HFCVD

CHAN Yan; HUANG Rongfang; WEN Lishi; SHI Chuangxu(Institute of Metal Research; Chinese Academy of Sciences)

陈岩;黄荣芳;闻立时;师昌绪. 温度场对热丝化学气相沉积大面积生长金刚石膜的影响[J]. 材料研究学报, 1995, 9(3): 245-249.
, , , . THE INFLUENCES OF TEMPERATURE FIELD ON LARGE AREA DIAMOND GROWTH OF DIAMOND FILM BY HFCVD[J]. Chin J Mater Res, 1995, 9(3): 245-249.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(1294 KB)   摘要: 用100×100mm大面积加热器进行了气相生长金刚石膜试验,对得到的金刚石膜样品作了拉曼光谱分析,并用扫描电镜观察了不同空间区域中金刚石形核的特点.拉曼光谱和扫描电镜观察的结果,均给出了与温度分布特点较好的对应.本研究的结果,指出厂热丝法大面积气相生长金刚石膜工业应用的可能性. 关键词 ： 气相况积,  金刚石薄膜,  温度场     Abstract：The large area temperature field was formed through large area planary arrangment of parallel W filament arrangment. and the temperature distribution of temperature field was measured. The results have shown that an uniform temperature region of 70×70mmwi Key words： HFCVD. diamond film. temperature field 收稿日期: 1995-06-25      基金资助:国家自然科学基金 服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 陈岩 黄荣芳 闻立时 师昌绪 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1995/V9/I3/245 1MatsumotoM．SatoY．KamoM．SetakaN．JApplPhys．1982:21:1832KamoM．SatoY．MatsumotoS．SetakaN．JCrystGrowth．1983:62(3):6423MatsumotoS．JMaterSciLett．1985:4:6004LandstrassMI．RaviKV．ApplPhysLett．1989:55:13915FrenklachM,SpearKE．JMaterRes．1988:3:1336ChenI．JApplPhys,1988:64:37427TsudaM．NakajimaM．Oikawa．JAmChemSoc．1986:108:57808PiekarcaykW．YarbroughWA．JCrustGrowth,1991:108:5839TheComputerSimulationofTheRaditionFieldinHFCVD．Y．Cheneta．,tobepublished10TheInfluencingFactorsofTempratureFieldinHFCVD．Y．Chenetal．,tobepublished| [1] 邵思武, 郑宇亭, 安康, 黄亚博, 陈良贤, 刘金龙, 魏俊俊, 李成明. 偏压技术在金刚石薄膜制备中应用的进展[J]. 材料研究学报, 2022, 36(3): 161-174. [2] 崔丽, 孙丽丽, 郭鹏, 马鑫, 王舒远, 汪爱英. 沉积时间对聚醚醚酮表面类金刚石薄膜的结构和性能的影响[J]. 材料研究学报, 2022, 36(11): 801-810. [3] 熊文文, 何嵩, 郑淞生, 程其进, 沈宏勋, 陈朝. 用RF-PECVD法制备类金刚石薄膜[J]. 材料研究学报, 2021, 35(2): 154-160. [4] 王延平 王兵 熊鹰 周亮. 掺氮纳米金刚石膜的制备和性能[J]. 材料研究学报, 2011, 25(2): 147-150. [5] 王玉乾 王兵 孟祥钦 甘孔银. 掺硼对超纳米金刚石薄膜的影响[J]. 材料研究学报, 2009, 23(3): 288-292. [6] 刘洪喜 蒋业华 周荣 詹肇麟 汤宝寅. 类金刚石薄膜对轴承钢表面机械性能和滚动接触疲劳寿命的影响[J]. 材料研究学报, 2009, 23(1): 43-48. [7] 陈波; 高明; 马颖澈; 刘奎; 李依依 . 空心管坯电磁离心过程的数值模拟[J]. 材料研究学报, 2005, 19(6): 634-638. [8] 汪浩;朱鹤孙;沈明荣;宁兆元. CVD金刚石薄膜的成核机制[J]. 材料研究学报, 1998, 12(6): 570-574. [9] 李俊昌;李行一;陈庆华;樊则宾;陈劲波. 激光热处理中实际光束热作用的快速分析[J]. 材料研究学报, 1998, 12(3): 262-266. [10] 郑昌琼;张铭诚;冉均国. 金刚石薄膜品质及其表征[J]. 材料研究学报, 1997, 11(3): 231-239. [11] 唐璧玉;靳九成;靳浩;颜永红;李绍绿;夏金童;陈小华;陈宗璋. 化学汽相沉积金刚石薄膜的生长[J]. 材料研究学报, 1997, 11(3): 334-336. [12] 超英民;朱从善;黄玮石. 用于光盘的信息复制材料及其在温度场中的稳定性[J]. 材料研究学报, 1996, 10(5): 547-550. [13] 沈荷生;张志明;何贤昶;李胜华. 金刚石的同质外延掺硼和Schottky特性[J]. 材料研究学报, 1995, 9(2): 163-166. [14] 张志伟;李荣志;朱鹤孙. 金刚石薄膜及高保真声学振动膜材料概述[J]. 材料研究学报, 1994, 8(4): 330-336. [15] 刘山;惠增哲;周尧和;鲁德洋. ACRT过程中的温度变化与测量[J]. 材料研究学报, 1994, 8(3): 223-226. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed