材料研究学报  1995, Vol. 9 Issue (6): 535-538

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工艺参数对Sol—Gel法制备的PLZT铁电薄膜结构和性能的影响

阎培渝;李龙土;张孝文

清华大学

THE PROCESSING EFFECTS ON STRUCTURE AND PROPERTIES OF SOL-GEL DERIVED PLZT FERROELECTRIC THIN FILMS

YAN Peiyu LI Longtu ZHANG Xiaowen(Tsinghua University)(Correspondent: YAN Peiyu;Dept.of Materials Science and Engineering;Tsinghua University;Beijing 100084)

阎培渝;李龙土;张孝文. 工艺参数对Sol—Gel法制备的PLZT铁电薄膜结构和性能的影响[J]. 材料研究学报, 1995, 9(6): 535-538.
, , . THE PROCESSING EFFECTS ON STRUCTURE AND PROPERTIES OF SOL-GEL DERIVED PLZT FERROELECTRIC THIN FILMS[J]. Chin J Mater Res, 1995, 9(6): 535-538.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(1445 KB)   摘要: 用Sol-Gel法在镀铂硅片上制备了具有良好铁电性能的PLZT薄膜,研究了影响薄膜显微结构与电学性能的工艺因素适宜的前体溶液液浓度和水解度,低的热处理变温速率对防止薄膜龟裂有利/PbTiO3过渡层改善PLZT薄膜的形核过程,使之生成纯钙钛矿结晶相.PbTiO3过渡层及薄膜内细小的晶粒和空间电荷使薄膜的剩余极化强度下降,矫顽场强上升. 关键词 ： PLZT,  铁电薄膜,  Sol-Gel法     Abstract：PLZT thin films with good ferroelectric properties were fabricated using the sol-gel method on platinized silicon.The processing parameters affecting the microstructure and electric properties of thin films were investigated. Suitable concentration and hy Key words： PLZT erroelectric thin film sol-gel 收稿日期: 1995-12-25      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 阎培渝 李龙土 张孝文 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1995/V9/I6/535 1HaertlingGH,Ferroelectrics,1992;131:12KwokCK,DesuSB,JMaterRes,1993;8(2):3393DormansGJM,deKeuserM,vanVeidhovenPJ．MatResSocSympProc,1992,243:203, [1] 杨平雄; 邓红梅; 褚君浩 . 非晶态铁电薄膜的铁电相转变[J]. 材料研究学报, 1999, 13(2): 221-224. [2] 包定华; 张良莹; 姚熹 . 择优取向的PbTiO3玻璃陶瓷薄膜的Sol-Gel制备及结构[J]. 材料研究学报, 1999, 13(1): 22-25. [3] 宋志棠;任巍;张良莹;姚熹. 由过量Pb引起的PLT铁电薄膜钉扎现象[J]. 材料研究学报, 1998, 12(6): 655-658. [4] 宋世庚;谭辉;王学燕;符小荣;陶明德;林成鲁. PbTiO_3和PZT凝胶团聚的分形研究[J]. 材料研究学报, 1998, 12(1): 108-110. [5] 宋志棠;任巍;吴小清;张良莹;姚熹. 热处理温度对铁电薄膜底电极Pt和Pt/Ti物相与形貌的影响[J]. 材料研究学报, 1997, 11(4): 363-368. [6] 宋世庚;谭辉;王学燕;符小荣;郑立荣;陶明德;林成鲁. PZT纳米晶薄膜的Sol-Gel法制备及铁电性质[J]. 材料研究学报, 1997, 11(4): 392-396. [7] 陈志雄;唐大海;刘梅冬;王培英;吴国安;丁军勇. PLZT(28/0/100)薄膜的溶胶-凝胶制备技术及显微结构[J]. 材料研究学报, 1995, 9(1): 76-80. [8] 刘芸;许恒生;武明堂;姚熹. 微畴—宏畴转变理论实现 PLZT 陶瓷的图象存储[J]. 材料研究学报, 1993, 7(1): 57-60. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed