材料研究学报  1996, Vol. 10 Issue (4): 415-418

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掺硼金刚石膜的热敏特性

贾宇明;杨邦朝;李言荣;郑昌琼;苟立;冉均国

电子科技大学;四川联合大学;电子科技大学信息材料工程学院

THERMAL-SENSITIVE CHARACTERISTICS OF BORON-DOPED DIAMOND FILMS

JIA Yuming; YANG Bangchao; LI Yanrong (University of Electronic Science & Technology of China)ZHENG Changqiong; GOU Li; RAN Junguo (Sichuan Union University)(Correspondent:Institute of Information Materials Engineering;University of Electronic Science & T

贾宇明;杨邦朝;李言荣;郑昌琼;苟立;冉均国. 掺硼金刚石膜的热敏特性[J]. 材料研究学报, 1996, 10(4): 415-418.
, , , , , . THERMAL-SENSITIVE CHARACTERISTICS OF BORON-DOPED DIAMOND FILMS[J]. Chin J Mater Res, 1996, 10(4): 415-418.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(302 KB)   摘要: 用微波PCVD法将掺硼金刚石膜淀积在Si3N4基片上.用Ti薄膜作为欧姆接触电极蒸发在金刚石膜表面上.为防止Ti在高温下氧化,上面镀上了Au薄膜,从室温到600℃范围内测试了这些金刚石膜样品的电阻(R),发现T1和R之间呈线性关系,若改变掺硼浓度以及热处理条件可以控制掺硼金刚石膜的热敏特性,结果表明掺硼金刚石膜显示了高的敏感性和好的稳定性,是一种优良的热敏电阻材料. 关键词 ： 掺硼,  金刚石膜,  热敏特性     Abstract：Boron-doped diamond films are deposited on the substrate Si3N4 by using microwave PCVD. Ti films are evaporated on the diamond films as ohmic contact electrodes, and then Au films are covered on the Ti films in order to protect the Ti films from oxygenat Key words： boron-doped    diamond films    thermal-sensitive characteristics 收稿日期: 1996-08-25      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 贾宇明 杨邦朝 李言荣 郑昌琼 苟立 冉均国 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1996/V10/I4/415 1NaojiFujimori,HideakiNakahatk．InMYoshikawaed．NewDiamond,JapanNewDiamondForum,1990:982蒋翔六主编．金刚石薄膜研究进展．北京:化学工业出版社,1991:104 [1] 王庆良 孙彦敏 张 磊. PECVD法制备类金刚石薄膜的摩擦学性能[J]. 材料研究学报, 2011, 25(1): 73-78. [2] 徐跃 张彤 李柳暗 李红东 吕宪义 金曾孙. 自支撑硼掺杂金刚石膜残余应力和微观应力的XRD分析[J]. 材料研究学报, 2009, 23(3): 264-268. [3] 王玉乾 王兵 孟祥钦 甘孔银. 掺硼对超纳米金刚石薄膜的影响[J]. 材料研究学报, 2009, 23(3): 288-292. [4] 李新; 唐祯安; 徐军 . 用于微机电系统的类金刚石膜制备及表征[J]. 材料研究学报, 2004, 18(6): 582-586. [5] 宋贵宏; 孙超; 王冰; 黄荣芳; 闻立时 . 大面积生长金刚石相关物理参量的空间分布[J]. 材料研究学报, 2000, 14(6): 609-614. [6] 魏爱香;陈弟虎;彭少麒. 无定形金刚石膜的光学性质[J]. 材料研究学报, 1997, 11(1): 81-84. [7] 刘德义;黄荣芳;于杰;闻立时;师昌绪. 热丝法化学气相沉积大面积金刚石膜中辐射场和温度场的尺寸效应[J]. 材料研究学报, 1996, 10(3): 279-284. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed