材料研究学报  1998, Vol. 12 Issue (5): 523-526

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非晶CN薄膜的制备及性质

魏爱香;陈弟虎;周友国;林励萍;彭少麒

中山大学;海军广州舰艇学院物理教研究室;广州市;510431;中山大学;广州市;510431;海军广州舰艇学院;海军广州舰艇学院;中山大学;;广州市;510431

DEPOSITION AND PROPERTIES OF AMORPHOUS CARBON NITRIDE FILMS

WEI Aixiang;CHEN Dihu;ZHOU Youguo;LIN Liping;PENG Shaoqi(Zhongshan University Guangzhou Naval Academy ; Guangzhou 510431)

魏爱香;陈弟虎;周友国;林励萍;彭少麒. 非晶CN薄膜的制备及性质[J]. 材料研究学报, 1998, 12(5): 523-526.
, , , , . DEPOSITION AND PROPERTIES OF AMORPHOUS CARBON NITRIDE FILMS[J]. Chin J Mater Res, 1998, 12(5): 523-526.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(335 KB)   摘要: 采用磁过滤真空溅射离子沉积技术制备了一组非晶CN薄膜.利用红外光谱,紫外—可见吸收光谱和电导测量研究了其光学和电学性质,用X射线光电子能谱确定腹中N的原子百分比.结果表明:a-CN康有22001500和1350cm-1三个吸收带,表明C和N是以化学共价键形式结合的.这种股有较宽的光能随4.14eV,极低的电导率10-15(Ω·cm)-1.腹中N的原子百分比最大为47%. 关键词 ： 碳氮薄膜,  磁过滤溅射离子,  红外光谱,  X射线光电子能谱     Abstract：Amorphous carbon nitride films have been formed by magnetic field filtered carbon ion deposition. The optical and electrical characteristics of samples deposited in different N2 partial pressure have been studied using FTlR, XPS, optical absorption spectr Key words： carbon nitride films    magnetic filtered plasma stream    IR absorption spectra    XPS 收稿日期: 1998-10-25      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 魏爱香 陈弟虎 周友国 林励萍 彭少麒 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/      或      https://www.cjmr.org/CN/Y1998/V12/I5/523 1 M.L.Cohen, Phys. Rev. B 1332, 7988(1985) 2 C.Niu, Y.Z.Lu, C.M.Lieber, Science. 261,334(1993) 3Z.John Zhang Shoushan Fan, C.M.Lieber, Appl.Phys.Lett. 66, 3582(1995) 4 AY.Liu, R.M.Wentzcovith, Phys. Rev. Lett 68, 1291(1996) 5 Dong Li, Xi-Wei Lin, Shang-Cheng, Cheng.Dravid Yip-wah Chung,Millg-show Wong WiliamD.Spyoul.Appl.Phys.Lett.68,1211(1996) 6 Zhaocu Wu,Yushui Yu,Xianghuai Liu ,Appl ,Phys .Lett ,68,1291(1996) 7Yafei Zhang ,Zhonghua Zhou ,Hulin Li,Appl .Phys Lett.68 (1996) 8K.M.Yu,M.L.Cohen et.al, Phys. Rev.B49, 5034(1994) 9H.Sjotram,M.Stafsnom,Phys.Rev.Lett.15,1336(1995) 10 趣爱香,陈弟虎,彭少麒 材料研究学报,11(1),81(1997) 11 Dong Li, Yip-Wah Chung,J.Vac.Sci.Technol.A12,1470(1994) 12A.Mansour,D.Ugolini, Phys.Rev. B 47,10201(1993) 13Jennifer L.Corkill,Marvin L.Cohen,Phys.Rev,B 48, 17622(1994 [1] 代军,晏华,郭骏骏,桑练勇,王雪梅. 结晶度对聚乙烯热氧老化特性的影响[J]. 材料研究学报, 2017, 31(1): 41-48. [2] 武彩霞 刘罡 方海涛 李峰 史鹏飞. 杂质离子对非晶态水合氧化钌电化学超电容性能的影响[J]. 材料研究学报, 2009, 23(6): 628-634. [3] 许淳淳; 吴小梅 . MoO42-抑制AISI304不锈钢局部腐蚀的机理[J]. 材料研究学报, 2002, 16(4): 354-360. [4] 杨贤金;王玉芬;赵乃勤;贾彦永;姚康德. 明胶凝胶的机械—电能转换特性[J]. 材料研究学报, 1997, 11(5): 496-498. [5] 卢朝靖;王世敏;邝安祥;黄桂玉;王龙海;王典芬. Sol-gel生长KTa_(1-x)Nb_xO_3电光薄膜的成分和结构[J]. 材料研究学报, 1995, 9(2): 158-162. [6] 许观藩;郑国栋;张金兰. 辐射交联聚甲基乙烯基硅氧烷-聚乙烯合金膜的XPS研究[J]. 材料研究学报, 1990, 4(1): 84-90. [7] 阎寿科;周恩乐. 硅氧烷胆甾接枝聚合物液晶 PHECS 和 PHPCS 的红外光谱研究~*[J]. 材料研究学报, 1989, 3(6): 558-562. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed