材料研究学报  2000, Vol. 14 Issue (1): 96-99

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纳米ZrO2薄膜的制备与表征

张勤远; 沈军; 李小丽; 杨天河; 吴广明; 周斌; 王珏

同济大学

蓝慕杰; 叶水驰; 鲍海飞; 周士仁; 姚枚 . 纳米ZrO2薄膜的制备与表征[J]. 材料研究学报, 2000, 14(1): 96-99.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(471 KB)   摘要: 用水热盐溶液水解法可合成含有单斜相晶态纳米ZrO2颗粒的ZrO2溶胶体.用匀胶法制备的纳米ZrO2薄膜厚度约160nm, 折光率为1.56. 纳米ZrO2薄膜表面质量良好, 无表面裂隙, 台阶仪研究表明薄膜表面粗糙度算术差Ra = 2.7nm, 均方根差Rq=3.7nm. 以ZrO2为高折射率膜层, 碱催化的溶胶凝胶SiO2为低折射率膜层, 制备了SiO2/ZrO2多层高反射率薄膜, 10周期的SiO2/ZrO2多层膜系, 在1.06um波段处透过率为1%, 薄膜表面抗激光损伤阈值约15J/cm2(1.06 um, 2.5ns高功率激光作用下). 关键词 ： 水热法,  纳米ZrO2薄膜,  单斜相ZrO2,       Key words： 收稿日期: 1900-01-01      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 蓝慕杰 叶水驰 鲍海飞 周士仁 姚枚 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/Y2000/V14/I1/96 1 I.M.Thomas, SPIE, 2288, 50(1994) 2 H.G.Floch, P.F.Belleville, SPIE, 2633, 432(1997) 3 F.Rainer, F.P.De Marco, M.C.Staggs, SPIE, 2114, 9(1994) 4 Di Maggio R, L.Fedrizzi, S.Rossi, P.Scardi, Thin Solid Films, 286, 127(1996) 5方国家,刘祖黎,张杰,姚凯伦,材料研究学报,11(4),357(1997) 6 A.Mehner, H.Klumper-Westkamp, F.Hoffmann, Thin Solid Films, 3O8, 363(1997) 7 C.Fournet, SPIE, 1624, 282(1992) 8 S.W.Wang, X.X.Huang, J.K.Guo, R.S.Li, Materials Letters, 28, 43(1996) 9 M.S.W.Vong, P.A.Sermon, Y.Sun, D.Spridds, SPIE., 2633, 446(1997) 10 Walter G.Driscoll, Handbook Of Optics (MCGraw-Hill Book Company, New York, 1978) p.8 No related articles found! Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed