材料研究学报  2001, Vol. 15 Issue (4): 454-458

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用PMCZ法生长的单晶硅中氧和电阻率的均匀性

张维连1;孙军生1;张恩怀1;李嘉席1;吴小双2;高树良2;胡元庆2;刘俊奇2

1.河北工业大学;2.天津半导体材料厂

张维连; 孙军生; 张恩怀; 李嘉席; 吴小双; 高树良; 胡元庆; 刘俊奇 . 用PMCZ法生长的单晶硅中氧和电阻率的均匀性[J]. 材料研究学报, 2001, 15(4): 454-458.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(435 KB)   摘要: 用永磁体环形磁场直拉(PMCZ)炉代替普通的MCZ炉生长了质量较高的单晶硅.在PMCZ炉中水平辐射状磁力线均匀分布,可有效地抑制熔体中不规则的对流和固液界面处的温度波动,降低以至消除微观生长速率的起伏. 在用PMCZ法生长的硅晶体中氧浓度较低,杂质的径向分布均匀性好. 简单地讨论了PMCZ法控氧优于普通MCZ法的机理. 关键词 ： 永磁场直拉(PMCZ)炉,  热对流,  氧杂质     Key words： 收稿日期: 1900-01-01      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 张维连 孙军生 张恩怀 李嘉席 吴小双 高树良 胡元庆 刘俊奇 44.8K 链接本文: https://www.cjmr.org/CN/Y2001/V15/I4/454 1 L.Tan,R.A.Dodd,W.C.Crone,Corrosion and wear- corrosion behavior of NiTi modified by plasma source ion implantation,Biomaterials,24(22),3931(2003) 2 K.Ozeki,T.Yuhta,H.Aoki,Y.Fukui,Inhibition of Ni re- lease from NiTi alloy by hydroxyapatite,alumina,and ti- tanium sputtered coatings.Bio-Med.Mater.Eng.,13(3), 271(2003) 3 Grimsdottir M.R.,Hensten-Pettersen A.,Kulmann A., Cytotoxic effect of orthodontic appliances.Eur.J.Or- thod.,14,47(1992) 4 Ryhanen J.,Niemi E.,Serlo W.,Niemela E.,Sandvik P.,Pernu H.,Salo T.,Biocompatibility of nickel-titanium shape memory metal and its corrosion behavior in human cell culture,J.Biomed.Mater.Res.,35(4),451(1997) 5 BAO Bocheng,Allergic case of NiTi wire in oral cavity, The Orthodontics,4(2),76(1997) (包柏成，NiTi丝致敏的案例报道，口腔正畸学，4(2)，76(1997)) 6 ZHANG Wenjuan,ZHU Ming,FENG Jingsu,Corrosion behavior of NiTi alloys,Chinese Journal of Rare Metals, 27(6),714(2003) (张文娟，朱明，冯景苏，NiTi合金腐蚀性能研究，稀有金属，27(6)，714(2003)) 7 LIANG Chenghao,SUI Hongyan,Corrosion resistance of TiNiCu shape memory alloy,Rare Metal Materials and Engineering,30(2),93-96(2001) (梁成浩，隋洪艳，TiNiCu形状记忆合金的耐蚀性研究，稀有金属材料与工程，30(2)，93-96(2001)) 8 LIANG Chenghao,GUO Liang,CHEN Wan,Effect of nitrogen-ion on the corrosion behavior of surgical materi- als in Hank's simulated body fluid,Rare Metal Materials and Engineering,31(4),274(2002) (梁成浩，郭亮，陈婉，Hank's人工模拟体液中离子注氮对4种植入金属材料腐蚀行为的影响，稀有金属材料与工程，31(4)，274(2002)) 9 LIANG Chenghao,Chen Bangyi,Chen Wan,Study on corrosion resistance of potassium dichromate method pas- sivated Cu-Zn-Al shape memory alloy in artificial Tyrode's solution,Rare Metal Materials and Engineering,33(3), 271(2004) (梁成浩，陈邦义，陈婉，Tyrode's人工体液中重铬酸钾法钝化Cu-Zn-Al形状记忆合金的耐蚀性研究，稀有金属材料与工程，33(3)，271(2004)) 10 YANG Dejun,SHEN Zhuoshen,The Corrosion of Metals (Beijing,Metallurgical Industry Press,1999)p.67 (杨德均，沈卓身主编，金属腐蚀学(冶金工业出版社，北京，1999)p．67) 11 Herbert H.Uhlig,R.Winston Revie:Corrosion and Corro- sion Control,A Wiley-Interscience Publication,America 1985,p:445,461 12 YANG Xianjian,HE Fei,ZHU Shengii,CUI Zhenduo, Component and microstructure of oxide film on NiTi shape memory alloy,Ordnance Materials Science and En- gineering,25(3),7(2002) (杨贤金，何菲，朱胜利，崔振铎，NiTi形状记忆合金表面氧化膜的成分和结构，兵器材料科学与工程，25(3)，7(2002))5 [1] 任丙彦; 张志成; 刘彩池; 郝秋艳 . 热场分布对大直径CZSi单晶中氧含量的影响[J]. 材料研究学报, 2001, 15(3): 328-332. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed