超薄四面体非晶碳膜的结构和性能 |
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| 许世鹏, 王华, 陈维铅, 李玉宏, 李玉军, 汪爱英 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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Structure and Properties of Ultrathin Tetrahedral Amorphous Carbon Films |
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| XU Shipeng, WANG Hua, CHEN Weiqian, LI Yuhong, LI Yujun, WANG Aiying | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 表2 椭偏仪和分光光度计结合表征超薄ta-C碳膜厚度与sp3含量 |
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| Table 2 Thickness and sp3 content of ultrathin ta-C carbon films by a combined ellipsometry and spectrophotometry approach |
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