结构调制超硬Ti/TiN纳米多层膜的制备及其尺寸效应 |
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| 杨波波,孙珲,杨田林,郑小龙,徐涛,李方正,宋淑梅 | ||||||||||||||||||||||||||||
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Preparation of Structure-Modulated Superhard Ti/TiN Nano-Multilayers and Size Effect |
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| Bobo YANG,Hui SUN,Tianlin YANG,Xiaolong ZHENG,Tao XU,Fangzheng LI,Shumei SONG | ||||||||||||||||||||||||||||
| 表2 单层TiN薄膜和Ti/TiN纳米多层膜的硬度、弹性模量和H/E值 | ||||||||||||||||||||||||||||
| Table 2 Hardness, elastic modulus, and H/E of singlelayer TiN film and Ti/TiN multilayer films | ||||||||||||||||||||||||||||
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