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1991年, 第5卷, 第6期 刊出日期:1991-12-25
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真空电弧等离子射流蒸发法沉积超微粉
林成福;黄荣芳;俞兵;钱声伟;关侃
材料研究学报. 1991, 5 (6): 489-493.
在真空电弧等离子喷涂设备上设计安装了超微粉的制备装置。制备出Fe,Si,Ni,Mo,TiAl,Ti_3Al 和Si_3N_4等超微粉。通过控制真空室工作压力和等离子弧电流,超微粉的粒度可分别为5,10,20和50nm。观察了粉的形状、分布,测试了沉积速率。
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